Ausstattung VUV-Excimer-Technik

VUV-Ausstattung des Fraunhofer IFAM – Eine Auswahl

Mobile VUV-Anlage als robotergeführter Bearbeitungskopf.
© Fraunhofer IFAM
Mobile VUV-Anlage als robotergeführter Bearbeitungskopf.

PLATO-Technikumsanlage Excimer 1

  • Behandlung von ebenen bzw. leicht gekrümmten Oberflächen bis zu einer Größe von DIN A3
  • Xe2*-XERADEX®-Strahler, BlueLight®-Strahler
  • Abstand 1 bis 50 mm
  • Definierte Sauerstoffpartialdruck 0 bis 100%
  • Definierte Luftfeuchtigkeit  < 1 % bis 100 %
  • Statische Prozesse und Prozesse in Translation

 

 

PLATO-Technikumsanlage Excimer 2

  • Haubensystem mit ca. 0,2 m3 Volumen
  • Probenfläche ca. 600 x 600 mm2
  • Xe2*-XERADEX®Strahler
  • Niederdruck-Quecksilberstrahler
  • Integrierte Aerosolapplikation für den Precursorauftrag (0,2 m3; Abscheiderate ca. 1-5 nm/min)
  • Batchprozess mit Haubensystem
  • Statische Prozesse
  • Höhenvariation 5 - 200 mm

 

Mobiles Bestrahlungsgerät

  • Bestrahlungsbreite ca. 400 mm
  • Xe2*-XERADEX®-Strahler
  • Statische Prozesse und Prozesse in Translation
  • Integrierte Absaugung
  • Integrierte Sensorik

 

Fachinformationen zum Download