Niederdruck-Plasmatechnik

Industrietaugliche Oberflächentechnik für die Serienanwendung

Niederdruck-Plasmaanlage mit Schüttguttrommel
© Fraunhofer IFAM

Niederdruck-Plasmaanlage mit Schüttguttrommel

Niederdruck-Plasmatechnik (ND-Plasmatechnik)

  • ermöglicht Aktivierung, Feinreinigung und Beschichtung von Oberflächen
  • ist geeignet für Batchware, Schüttgut und Bahnware
  • ist sowohl auf nahezu allen Substratmaterialien als auch auf komplexen Geometrien anwendbar
  • besitzt eine hohe Integrationsfähigkeit in bestehende Fertigungsabläufe
  • kann an sich ändernde Anforderungen adaptiert werden
  • weist eine hohe Umweltverträglichkeit und Prozesssicherheit auf

Am Fraunhofer IFAM steht eine Vielzahl unterschiedlichster ND-Plasmaanlagen in Bezug auf Größe, Elektrodenausstattung und Einsatzzweck vom Labor- bis zum Produktionsmaßstab zur Verfügung. Flexible Warenaufnahmen erlauben die Anpassung an das jeweilige Produkt in Bezug auf Größe, Geometrie und zu beschichtende Fläche.

Zudem ermöglichen es die vielfältigen Methoden der Oberflächen­charakterisierung – z. B. Härte- und Schichtdickenmessungen, Bestimmung der Zusammensetzung mittels XPS oder Oberflächenenergiebestimmungen – Funktionsschichten sehr genau zu beschreiben und Aufskalierungen sicher vorzunehmen.

Darüber hinaus besteht die Möglichkeit, Bahnware mit einer Breite von bis zu 2 m zu bearbeiten, bei Bedarf auch in Kombination mit Sputterprozessen.

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