Chemische Oberflächenanalyse im Nanometerbereich
Die Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) ist eine der leistungsfähigsten Methoden zur chemischen Analyse von Oberflächen. Sie liefert detaillierte Informationen über die Elementkonzentrationen, chemischen Bindungszustände und Oxidationsstufen der äußersten 1-10 Nanometer eines Materials. Zudem ist auch eine Sputter-Tiefenprofilierung möglich. Damit ist XPS unverzichtbar für Schadensanalytik, Qualitätssicherung und Materialforschung – insbesondere in der Elektronik, Medizintechnik, Luft- und Raumfahrt, Kunststoff- und Lackindustrie.
Funktionsprinzip – so arbeitet XPS
Bei der XPS-Analyse wird die Probenoberfläche mit monochromatischer Röntgenstrahlung bestrahlt. Die Photonen der Strahlung regen Elektronen in der Probe an und lösen sogenannte Photoelektronen aus den obersten Atomlagen heraus. Ihre kinetische Energie wird im Spektrometer gemessen und liefert Rückschlüsse auf:
- die vorhandenen chemischen Elemente (außer H und He)
- die Bindungszustände (z.B. Metall, Oxid)
- die chemische Umgebung und Oberflächenkontaminationen
Durch Rastermessungen entsteht eine chemische Oberflächenkarte, die die laterale Verteilung von Elementen und Bindungszuständen zeigt.
Für Tiefenprofile kann die Oberfläche zusätzlich mittels Sputtern abgetragen werden. Dadurch lassen sich Schichtaufbauten, Grenzflächenreaktionen und Diffusionsprozesse sichtbar machen.
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM